功能:

主要用于半导体,太阳能等制造领域中危险性气体的安全传输,用一定的压力,一定的量使气体安全的分配,供应到(VMB,VMP)或主系统. 紧急情况下可自动切断气体的安全供应装置.

适用于下列气体:

SiH4,NH3,Cl2,N2O,DCS,SiH2Cl2…