TEOS & Dopant(TEB,TMB,TEPO,TMP)

LOW K(OMCTS,TMCTS,4MS…)

TiN(TiCl4,TDMAT,TDEAT…)

 基本功能:

一用一备的自动化化学品传输系统.

具有自动泄压功能已维持稳定的传输压力.